电子气体中金属杂质的捕集
电子工业用气体统称电子气体，指在半导体及其它电子产品生产过程中所用到的高纯度气体，是微纳电子制造国家安全战略产业的关键支撑材料，其广泛应用于大规模集成电路、液晶显示器、多晶硅和薄膜太阳能电池、新型电光源、光电半导体器件以及光纤通讯器件等电子行业 [1] [2] [3]。表1为一些电子工业生产中所常用到的高纯气体 [3]。
近年来，随着微纳电子先进制程向大尺寸、窄线宽、高集成度、高均匀性和高完整性发展，杂质捕获仪厂家，对电子气体的纯度和一致性要求越来越高，除了应具有5 N (99.999%)以上纯度，还要求电子气体中的H2O、气体杂质(如O2、CO2、CO、CH4等)和金属杂质(如Al、Cr、Cd、Cu等)的指标达到ppb (10?9)至ppt (10?12)数量级，气体的品质要求高度稳定且一致。电子气体的纯度对于半导体器件的质量与成品率影响很大，尤其是气体中的金属杂质，是使半导体产生漏电、晶格缺陷和断线的主要原因
溶液吸收法
溶液吸收法是指使样品气通过吸收液，杂质捕获仪，使得样品中的金属杂质集到溶液中 [12]。该方法作为一种常用的气体样品捕集方法，适用于与吸收液进行化学反应或吸收液对其有强溶解性的气体样品。由于各类气体化学性质的差异，寻找合适的吸收液是该方法采样的关键。此外，由于样品气的完全水解，捕集后的溶液呈强酸、强碱性或生成沉淀物。因此，需要进行基体分离才能进行金属杂质测定。
杂质捕获仪
用于玻璃灌装食品金属检测的金属探测仪，杂质捕获仪多少钱，包括检出机构、清洗机构和中控机构，检出机构包括驱动组件、支撑架、夹取组件、套筒、第二套筒、移动块、第二传动杆、固定板、两个电磁铁和两个磁钢，清洗机构包括第二驱动组件、第二支撑架、支撑杆、摆动杆、第三传动杆、第二移动块和清洁刷，该用于玻璃灌装食品金属检测的金属探测仪中，通过检出机构，可以将检测到含有金属杂质的玻璃灌装食品夹住，之后将食品取出，降低了食品在检出过程中被打碎的几率，提高了金属探测仪的安全性，通过清洗机构，可以将传送带上的污渍清洗干净，降低了污渍进入食品内部的几率，从而提高了食品的安全性。
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